中圖儀器3D輪廓光學(xué)測量儀測量大尺寸樣品時支持拼接功能,，將測量的每一個小區(qū)域整合拼接成完整的圖像，拼接精度在橫向上和載物臺橫向位移精度一致,，可達(dá)0.1um。它是一款以白光干涉技術(shù)為原理,、結(jié)合精密Z向掃描模塊,、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D,、3D參數(shù),，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器?？蓽y各類從超光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度,、微觀幾何輪廓,、曲率等參數(shù),。

產(chǎn)品功能

1）設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能,；

2）測量中提供自動對焦,、自動找條紋,、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能；

3）測量中提供自動拼接測量,、定位自動多區(qū)域測量功能,；

4）分析中提供校平,、圖像修描、去噪和濾波,、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

5）分析中提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析、功能分析等五大分析功能,；

6）分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,。

工作原理

光源發(fā)出的光經(jīng)過擴(kuò)束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束，一束經(jīng)被測表面反射回來,，另外一束光經(jīng)參考鏡反射,，兩束反射光終匯聚并發(fā)生干涉，顯微鏡將被測表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號,，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌,。

性能特征

1、高精度,、高重復(fù)性

1）采用光學(xué)干涉技術(shù),、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統(tǒng)，保證測量精度高,；

2）隔振系統(tǒng)能夠有效隔離頻率2Hz以上大部分振動,，消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲,，保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用,，獲得高測量重復(fù)性,。

2,、一體化操作的測量分析軟件

1）測量與分析同界面操作，無須切換,，測量數(shù)據(jù)自動統(tǒng)計(jì),，實(shí)現(xiàn)了快速批量測量的功能,；

2）可視化窗口，便于用戶實(shí)時觀察掃描過程,；

3）結(jié)合自定義分析模板的自動化測量功能，可自動完成多區(qū)域的測量與分析過程,；

4）幾何分析,、粗糙度分析、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全,；

5）一鍵分析,、多文件分析，自由組合分析項(xiàng)保存為分析模板,，批量樣品一鍵分析,，并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計(jì)圖表功能；

6）可測依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標(biāo)準(zhǔn)的多達(dá)300余種2D,、3D參數(shù),。

3、精密操縱手柄

集成X,、Y、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄,，可快速完成載物臺平移,、Z向聚焦、找條紋等測量前工作,。

4、雙重防撞保護(hù)措施

除初級的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外,，另在Z軸上設(shè)計(jì)有機(jī)械電子傳感器,，當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時,，儀器自動進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài)，保護(hù)儀器,，降低人為操作風(fēng)險,。

1）軟件防撞保護(hù)ZSTOP

ZSTOP,，顧名思義，就是軟件設(shè)置在Z軸上的停止位,，設(shè)置位置到樣品表面的距離小于鏡頭的工作距離,，當(dāng)鏡頭運(yùn)動到該位置時,，就立刻停止不再向下運(yùn)動，起到保護(hù)樣品和鏡頭的作用,。

2）Z軸硬件防撞傳感器

在鏡頭的上方安裝有機(jī)械防撞傳感器,，當(dāng)鏡頭向下位移與樣品表面直接接觸時，觸發(fā)感應(yīng)器,，鏡頭與樣品表面變?yōu)檐浗佑|，并觸發(fā)緊急停止開關(guān),，不再響應(yīng)向下位移的指令,，避免鏡頭和樣品的損傷,，雙重防護(hù)，守護(hù)設(shè)備和產(chǎn)品,，也守護(hù)每一分價值和信任。

5,、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)

中圖儀器3D輪廓光學(xué)測量儀既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以接入標(biāo)配靜音空壓機(jī),，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作。